主營產(chǎn)品:X射線熒光光譜儀
型 號FlexSEM 1000
產(chǎn)品時間2024-06-24
所屬分類掃描電子顯微鏡(電鏡)
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FlexSEM1000是日立公司推出的一款機型小巧性能優(yōu)異的鎢燈絲掃描電鏡,擁有大束流和低球差的物鏡和聚光鏡設計,配備了高分辨率二次電子探頭及高靈敏度五分割背散射探頭,具有的低真空成像能量,并且采用的SEM MAP高精度導航系統(tǒng)及的自動化功能,使性能更加*,使用更加簡便。
產(chǎn)品特點
1.節(jié)能環(huán)保的設計
2.高效率的自動功能
3.簡捷的操作界面
4.高分辨低真空觀察
鎢燈絲掃描電鏡?技術(shù)參數(shù)
分辨率 | 4.0nm(加速電壓20kV,高真空模式,二次電子像) |
15.0nm(加速電壓1kV,高真空模式,二次電子) | |
5.0nm(加速電壓20kV,低真空模式,背散射電子像) |
放大倍率 | 底片倍率:6 – 300,000x |
顯示器倍率:16 – 800,000x |
加速電壓 | 0.3-20kV |
低真空可變壓力范圍 | 6-100Pa |
馬達臺 | 標配三軸自動馬達 |
行程 | X: 0-40mm |
Y: 0-50mm | |
R: 360 ° | |
Z: 5-15mm | |
T: -15- 90° | |
電子光學系統(tǒng) | 電子槍:預對中鎢燈絲 |
信號檢測系統(tǒng):二次電子探測器;高靈敏度背散射探測器 |
真空系統(tǒng) | 全自動閥門控制抽真空系統(tǒng)/渦輪分子泵:61L/S 1臺 |
機械泵:100L/min 1臺 | |
安全裝置:帶停電、漏電保護的真空保護功能 | |
操作輔助功能 | 電子束旋轉(zhuǎn);動態(tài)聚焦;畫質(zhì)優(yōu)化功能 |
數(shù)據(jù)輸入;2點間測量、角度測量、文字;預設倍率; | |
樣品臺位置導航功能(SEM MAP);電子束標記 |
應用領(lǐng)域:
1、 生物醫(yī)學
2、 食品衛(wèi)生
3、 電子半導
4、 汽車制造
5、 新能源